Оптическая интерференционная микроскопия - это бесконтактный метод быстрого получения топографии поверхности в 3D, позволяющий регистрировать особенности рельефа, начиная от шероховатости нанометрового масштаба до ступенек миллиметровой высоты. В оптических профилометрах (интерференционных микроскопах) Wyko серии NT реализованы обе базовые измерительные методики: интерферометрия вертикального сканирования (Vertical Scanning Interferometry) и интерферометрия фазового контраста (Phase Shifting Interferometry). В этих режимах оптические профилометры Wyko могут исследовать практически любые образцы с коэффициентом отражения от 1 до 100%.
NT 9080 - настольный прибор с ручными настройками, самый простой и дешевый в своей серии, может инсталлироваться пользователем. Отсутствие автоматизации не мешает получать изображения высокого качества с хорошим разрешением. NP-FLEX - Разработан специально для работы с крупногабаритными деталями произвольной формы: шестерни, валы, оси, хомуты, резьбы. Поворотная оптическая головка дает возможность работать с сильно наклоненными поверхностями. Дополнительная система зеркал позволяет проводить измерения на внутренних поверхностях цилиндров и углублений, "заглядывать" в глубокие отверстия. Масса образца до 90 кг. NT9100 - небольшой настольный прибор, сохраняющий все преимущества промышленных профилометров Wyko, включая полную версию аналитического программного обеспечения Vision 32. Автоматизированное основание позволяет получать изображения больших полей с высоким разрешением, благодаря использованию склейки.
NT9300 - прибор, рассчитанный на потребности производства и работу в круглосуточном режиме. Имеет моторизированное программное обеспечение. NT9800 - самый точный и мощный профилометр на сегодняшний день. Этот полностью автоматизированный прибор последнего поколения имеет высокую скорость сканирования (до 80 мкм/с), встроенный лазер для автокалибровки во всем диапазоне, высокоскоростной автофокус. Спецификации профилометров серии Wyko NT | NT 9080 | NT 9100 | NT 9300 | NT 9800 | NP Flex | Методы измерения | Вертикальная сканирующая интерферометрия (в белом свете); Фазовая интерферометрия | Объективы стандартные | 2.5X, 5.0X, 10X, 20X, 50X | 1.5X, 2.5X, 5.0X, 10X, 20X, 50X, 100X | Объективы с большим рабочим расстоянием | 2.0X, 5.0X, 10X | 1.5X, 2.0X, 5.0X, 10X | Cувеличенным рабочим расстоянием (2X, 5X, 10X) | Турель | Ручная | Моторизованная 4-позиционная (по выбору) | Линзы поля зрения | 0.55X, 1.0X ручная | 0.55X, 0.75X, 1.0X, 1.5X, 2.0X автоматизированная смена | Матрица видеокамеры | 640 x480 | По выбору пользователя, максимум640 x480 (опция 1392 x1040) | Максимум 640 x480 | Источник света | Белый и зеленый светодиоды с большим сроком работы автоматический выбор фильтра | Калибровка | Калибровочные стандарты | Автоматическая во всём диапазоне | Калибровочные стандарты | Основания | ручное | Моторизованное перемещение по 3 осям, программируемое перемещение по XY(опция) | Диапазон измерений по вертикали | от 0.1 нм до 10 мм | Диапазон перемещений по XY | 100 мм; наклон ± 6° | 150 мм; наклон ± 6° | 200 мм – стандарт, 300 мм, поворотная система (200 мм) – опции | 300 мм | Компьютер | Dell; мониторы SVGA17 дюймов, принтеры, сетевые карты (по выбору) | Программное обеспечение | Wyko Vision32 подMicrosoftWindows XP Professional. | Wyko Vision32 подMicrosoftWindows XP Professional. Дополнительные пакеты: панорамная съемка, картирование толщины прозрачных пленок, работа с асферической оптикой, высокоразрешающая интерферометрия вертикального сканирования, совместимость с MATLAB и TCP IP. | Высота образца | до 10 см | до 22 см | Разрешение по вертикали (Ra) | < 0.12 нм | < 0.08нм (фазовая интерферометрия) | < 0,15 нм | Повторяемость RMS | 0.015 нм | 0.01 нм | 0.03 нм | Скорость сканирования | до 28мкм/с | до 80 мкм/с | | Расстояние между пикселями | от 0.08мкм до13.1 мкм | Поле зрения | 0.05мм до 7.68мм | от 0.05мм до 8.24 мм (большие поля с применением склейки) | 0.05мм до 7.68мм | Высокоскоростная автофокусировка | по выбору | стандарт | по выбору | Коэффициент отражения образцов | от 1% до100% | Виброизоляция | настольный, виброизоляция по выбору | со встроенной виброизоляцией | Вес | 336мм x 520мм x 645мм | 320мм x 610мм x 645мм | 1245 ммx 775мм x 1549 мм | 1717 ммx 772мм x 813мм | Напряжение питания | 200–240В, 50–60 Гц |
Примеры приложений
|
