Оптическая интерференционная микроскопия - это бесконтактный метод быстрого получения топографии поверхности в 3D, позволяющий регистрировать особенности рельефа, начиная от шероховатости нанометрового масштаба до ступенек миллиметровой высоты. В оптических профилометрах (интерференционных микроскопах) ContourGT реализованы обе базовые измерительные методики: интерферометрия вертикального сканирования (Vertical Scanning Interferometry) и интерферометрия фазового контраста (Phase Shifting Interferometry). В этих режимах оптические профилометры Contour могут исследовать практически любые образцы с коэффициентом отражения от 1 до 100%.
ContourGT-K0 - настольный прибор с ручными настройками, самый простой и дешевый в своей серии, может инсталлироваться пользователем. Отсутствие автоматизации не мешает получать изображения высокого качества с хорошим разрешением. ContourGT-K1 - небольшой настольный прибор, сохраняющий все преимущества промышленных профилометров, включая полную версию аналитического программного обеспечения Vision 64. Автоматизированное основание позволяет получать изображения больших полей с высоким разрешением, благодаря использованию склейки. ContourGT-X3 и X8 - приборы, рассчитанные на потребности производства и работу в круглосуточном режиме, имеющие моторизированное программируемое основание, встроенную виброизоляцию. ContourGT-X8 - самый точный и мощный профилометр на сегодняшний день. Этот полностью автоматизированный прибор последнего поколения имеет встроенный лазер для автокалибровки во всем диапазоне, высокую скорость сканирования (до 90 мкм/с). NP-FLEX - Разработан специально для работы с крупногабаритными деталями произвольной формы: шестерни, валы, оси, хомуты, резьбы. Поворотная оптическая головка дает возможность работать с сильно наклоненными поверхностями. Дополнительная система зеркал позволяет проводить измерения на внутренних поверхностях цилиндров и углублений, "заглядывать" в глубокие отверстия. Масса образца до 90 кг. Спецификации профилометров серии Wyko NT | ContourGT-K0 | ContourGT-K1 | ContourGT-X3 | ContourGT-X8 | NP-Flex | Методы измерения | Вертикальная сканирующая интерферометрия (в белом свете)
Фазовая интерферометрия | Виброизоляция | Настольный, требуется виброизоляция | Встроенная виброизоляция | Основание | Ручное, 150 мм;
наклон основания ±6° | Ручное, 150 мм;
моторизованное и программируемое (опционально);
наклон основания ±6° | Программируемое, 200 мм;
Опционально 300 мм; | Моторизованное, 300 мм;
Опционально: гранитная плита или поворотное 150 мм | Наклон головки | нет | нет | ±6° | ±45° (опция) | Перемещения по вертикали | Ручное; 100 мм | Моторизованное, управляется компьютером;
джойстик (опционально) | Источник света | Два долгоживущих светодиода последнего поколения | Тубусные линзы | Одна фиксированная 0.55X или1.0X | Моторизованная турель 0.55X, 0.75X, 1.0X, 1.5X, 2.0X | Объективы (парфокальные) | 2,5x, 5x, 10x, 20x, 50x | 1,5x, 2,5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x | С большим рабочим расстоянием | 2x, 5x, 10x | 1x, 1,5x, 2x, 5x, 10x | C увеличенным рабочим расстоянием (2X, 5X, 10X) | Крепление объективов | Адаптер для одного объектива или ручная турель | Адаптер для одного объектива или 4-х позиционная моторизованная турель | Компьютер | Dell; Multi-core, Windows® 7,0 | Dell; Windows® XP | Программное обеспечение | ПО Vision64 для управления профилометром и анализа изображений | ПО Vision32 | Дополнительное ПО | нет | картирование толщины прозрачных пленок, работа с асферической оптикой, высокоразрешающая
интерферометрия вертикального сканирования, совместимость с MATLAB и TCP IP
| Автоматизация (стандарт) | Подбор интенсивности освещения; автофокус камеры | | Высокоскоростной автофокус | нет | опция | Панорамная съемка | нет | опция | нет | Автоматизация перемещений по XY | нет | опция | стандарт | опция | Калибровка | Калибровочные стандарты | Опорный лазер | Калибровочные стандарты | Диапазон измерений по вертикали | 0,1 нм до 10 мм | 0,1 нм до 22 мм | Скорость вертикального сканирования | до 28 мкм/с | до 92 мкм/сек | | Разрешение по вертикали (Ra) | < 0.12 нм | < 0.08 нм (фазовая интерферометрия) | < 0,15 нм | Повторяемость RMS | 0.015 нм | 0.01 нм | 0.03 нм | Максимальная масса образца | 4,5 кг | 45 кг | 90 кг | Гарантия | 18 месяцев | 12 месяцев |
Примеры приложений
|
