Сканирующий зондовый микроскоп MultiMode с момента своего создания компанией Digital Instruments завоевал заслуженную популярность среди пользователей по всему миру и стал настоящей классикой среди зондовых микроскопов: по статистике научной периодики наибольшее количество СЗМ-изображений было получено именно на микроскопах MultiMode. Широчайший спектр методик для исследования физических свойств поверхности, легендарная надежность и потрясающая простота в использовании обеспечили такую популярность линейке микроскопов MultiMode. Открытая архитектура микроскопа позволяет быстро менять сканирующие головки, сканеры и держатели кантилеверов, подавать на образец сигналы от внешних источников, устанавливать дополнительные модули. Области применения микроскопа: материаловедение, микробиология, нанотехнологии.
Краткие технические характеристики:
Размер образца – 15х15х5 мм; Крепление образца – на магнитный столик; Тип сканирования – образцом; Поле сканирования – до 150х150х5 мкм (зависит от сканера); Уровень шума по Z – менее 0.3 Ǻ на воздухе, менее 0.5 Ǻ в жидкости; Позиционирование зонда – микрометрическими винтами.
Сканирующий зондовый микроскоп Dimension V разработан специально для исследования крупногабаритных образцов, например, кремниевых пластин. Специальная платформа с вакуумным присосом обеспечивает надежное крепление образцов до 200 мм в диаметре и перемещается образца в плоскости XY с помощью шаговых двигателей. Совокупность гранитной плиты и виброизоляционного стола с акустическим кожухом обеспечивают максимальный уровень защиты от внешних вибраций. Управление микроскопом, – проведение измерений, выбор области сканирования, перемещение образца, зуммирование видеокамеры, – осуществляется полностью с компьютера при закрытом акустическом кожухе. Открытая архитектура микроскопа позволяет устанавливать дополнительные модули, подавать на образец сигналы от внешних источников.
Области применения микроскопа: материаловедение, микроэлектроника, нанотехнологии.
Краткие технические характеристики
Размер образца – до 200 мм диаметр, до 12 мм толщина; Крепление образца – на вакуумный столик; Тип сканирования – зондом; Поле сканирования – до 90х90х8 мкм; Уровень шума по Z – менее 0.5 Ǻ; Позиционирование образца – автоматическое, в диапазоне 125х100 мм.
Уникально низкий тепловой дрейфи крайне малый шум по Zпозволили впервые получить на широкоформатной системе характеристики, доступные до этого на СЗМах, предназначенных для исследования небольших образцов. Специально разработанный для Dimension Icon сканер, при диапазоне сканирования в 90х90х10 мкм3 и постоянно включенной системе линеаризации, способен получить устойчивое атомарное изображение. Платформа для образцов с вакуумным присосом обеспечивает надежное крепление как одного, так и нескольких образцов. Перемещение образца в плоскости XY осуществляется с помощью шаговых двигателей и может быть запрограммировано. Система полностью интегрирована в специально разработанный акустический кожух со смотровым окном, который в совокупности с массивным (450 кг) виброизоляционным столом обеспечивают максимальный уровень защиты от внешних вибраций, акустических шумов и внешнего электромагнитного излучения. Открытая архитектура микроскопа позволяет устанавливать дополнительные модули, подавать на образец сигналы от внешних источников.
Dimension Icon применяется для исследования поверхности полупроводниковых пластин, литографических масок, магнитных носителей, CDs/DVDs, биоматериалов, оптики и других образцов.
Краткие технические характеристики:
Размер образца – до 210 мм диаметр, до 15 мм толщина; Крепление образца – на вакуумный столик; Тип сканирования – зондом; Поле сканирования – до 90х90х10 мкм3; Уровень шума по Z – менее 30 пм; Скорость теплового дрейфа – 200 пм/мин; Позиционирование образца – автоматическое, в диапазоне 180х150 мм.
Сканирующий зондовый микроскоп Dimension 3100 разработан специально для исследования крупногабаритных образцов, например, кремниевых пластин.
Специальная платформа с вакуумным присосом обеспечивает надежное крепление образцов до 200 мм в диаметре и перемещается образца в плоскости XY с помощью шаговых двигателей. Совокупность гранитной плиты и виброизоляционного стола с акустическим кожухом обеспечивают максимальный уровень защиты от внешних вибраций. Управление микроскопом, – проведение измерений, выбор области сканирования, перемещение образца, зуммирование видеокамеры, – осуществляется полностью с компьютера при закрытом акустическом кожухе. Открытая архитектура микроскопа позволяет устанавливать дополнительные модули, подавать на образец сигналы от внешних источников.
Области применения микроскопа: материаловедение, микорэлектроника, нанотехнологии.
Краткие технические характеристики
Размер образца – до 200 мм диаметр, до 12 мм толщина; Крепление образца – на вакуумный столик; Тип сканирования – зондом; Поле сканирования – до 90х90х6мкм; Уровень шума по Z – менее 0.5 Ǻ; Позиционирование образца – автоматическое, в диапазоне 125х100 мм.
Новый сканирующий зондовый микроскоп Innova сочетает в себе высочайшее разрешение, большую функциональность и простоту в использовании. Встроенная цифровая камера высокого разрешения и моторизированное основание для образцов позволяют быстро и просто позиционировать образец в поисках нужных участков. Жесткая конструкция механики головки микроскопа, очень низкий тепловой дрейф и сверхнизкошумящая электроника позволили получать атомарное разрешение на 90-микронном сканере, снабженном системой линеаризации. Включать/отключать систему линеаризации можно "на ходу" во время сканирования. Кантилеверы заранее предустановленны на специальные площадки, поэтому настройка оптической системы не представляет труда. Широкий спектр реализуемых методик делает СЗМ Innova мощным и универсальным инструментом для решения задач в области материаловедения, биологии, исследования полимеров и полупроводниковых материалов.
Краткие технические характеристики
Размер образца – до 50х50х18 мм; Крепление образца – на магнитный столик; Тип сканирования – образцом; Поле сканирования – до 90х90х7.5 мкм; Уровень шума по Z – менее 0.5 Ǻ, open-loop.
В 1994 году компанией Veeco был предложен первый коммерческий АСМ, совмещенный с инвертированным оптическим микроскопом. BioScope Catalyst, – последнее поколение этой удачной модели, – сконструирован специально для нужд медиков и биологов. Он может быть интегрирован в большинство современных конфокальных и инвертированных микроскопов. Совмещение двух, принципиально разных, методов исследования дает совершенно новый уровень информации об объекте: оператор одновременно получает изображение клеточной структуры (оптический микроскоп) и изображение поверхности клетки (атомно-силовой микроскоп).
Области применения микроскопа: микробиология, медицина, материаловедение, нанотехнологии.
Краткие технические характеристики:
Размер образца – чашечки Петри до 60 мм в диаметре; Тип сканирования – раздельный по XY и Z; Поле сканирования – до 150х150х20мкм3; Уровень шума по Z – 0.1 нм (RMS) на воздухе и 0.2 (RMS) нм в жидкости; Позиционирование образца – моторизированное, в диапазоне 10х10 мм.
Dimension Edge - новый атомно-силовой микроскоп, разработанный на платформе Dimension Icon, лучшего на сегодняшний день АСМа для крупноформатных образцов. Сохраняя характеристики старшей модели, Dimension Edge существенно дешевле и проще в эксплуатации.
Сердцем системы является линеаризованный, широкопольный сканер, установленный на жесткой, термокомпенсированной раме. Вся электроника за исключением камеры и сканера располагается вне микроскопа, что позволило снизить тепловой дрейф системы. Платформа с вакуумным присосом позволяет автоматически перемещать образцы в плоскости XY. При одновременном исследовании нескольких образцов перемещение от одного к другому можно запрограммировать. Открытый доступ к образцам во время сканирования позволяет реализовывать широкий спектр пользовательских экспериментов.
Краткие технические характеристики
Размер образца – до 150 мм диаметр, до 15 мм толщина (опционально до 40 мм); Крепление образца – на вакуумный столик; Тип сканирования – зондом; Поле сканирования – до 90х90х10 мкм3; Уровень шума по Z – менее 50 пм; Позиционирование образца – автоматическое, в диапазоне 150х150 мм2.
Атомно-силовой микроскоп MultiMode 8 - это система последнего поколения в линейке MultiMode.
Основное отличие от других моделей– новое программное обеспечение и поддержка режимов PeakForce QNMи ScanAsyst.
Краткие технические характеристики
Размер образца – 15х15х5 мм; Крепление образца – на магнитный столик; Тип сканирования – образцом; Поле сканирования – до 150х150х5 мкм3 (зависит от сканера); Уровень шума по Z – менее 0.3 Ǻ на воздухе, менее 0.5 Ǻ в жидкости; Позиционирование зонда – микрометрическими винтами.
Комбайн Innova-IRIS объединяет в себе возможности двух мощных методик по исследованию поверхности: атомно-силовой микроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния света (Раман-спектроскопия). В основе Раман-спектроскопии лежит явление неупругого рассеяния света. В результате анализа Раман-спектра можно определять природу вещества. Такое совмещение дает возможность одновременно воспроизводить топографию образца и идентифицировать химические компоненты, составляющие его поверхность.
Отличие атомно-силовых микроскопов Innova-IRIS и Innova лишь в конструкции сканирующей головки.
Комбайн BioScope Catalyst-IRIS объединяет в себе возможности двух мощных методик по исследованию поверхности: атомно-силовой микроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния света (Раман-спектроскопия).
В основе Раман-спектроскопии лежит явление неупругого рассеяния света. В результате анализа Раман-спектра можно определять природу вещества. Такое совмещение дает возможность одновременно воспроизводить топографию образца и идентифицировать химические компоненты, составляющие его поверхность.
