В настоящее время микроанализ с помощъю электронного пучка является общепринятым как стандартный аналитический метод. Однако его чувствительность часто не достаточна, особенно для обнаружения микроэлементов. Это может быть объяснено высоким фоном тормозного излучения, который типичен для электронного возбуждения. Напротив, возбуждение образца с помощью рентгена позволяет значительно уменьшить фон, но при этом не гарантируется хорошее разрешение. Поликапиллярная фокусирующая рентгеновская оптика открывает новые перспективы для концентрации излучения рентгеновской трубки на маленькие пятна с диаметром в несколько десятков микрометров. Эта техника была уже успешно опробована в икрорентгенофлуоресцентном анализе. Используя такой источник возбуждения в комбинации с электронным микроскопом, производится возбуждение флюоресцентного излучения образца, которое фиксируется уже имеющимся энергидисперсионным детектором, например фирмы ОКСФОРД. Таким образом микрорентгенофлуоресцентный анализ здесь модульный рентгеновский источник с поликапиллярной оптикой предоставляет такую возможность.

Аналитические свойства
При возбуждении образцов рентгеном значительно уменьшается непрерывный фон, при этом порог чувствительности повышается в 20-50 раз из-за высокого соотношения пика к фону. Глубина проникновения рентгена в образец больше чем у электронного луча. В результате, в однородных объемных образцах происходит возбуждение большего объема, что приводит к лучшей статистике и достоверности результатов. Так же могут быть исследованы толстые слои или многослойные структуры. Кроме того, непроводящие образцы тоже могут быть исследованы. При этом нет необходимости напылять проводящее покрытие, что значительно облегчает подготовку образцов. Возможность использования как электронного так рентгеновского возбуждения позволяет объедининть полученную информацию от обоих методов, то есть с одной стороны возбуждения легких элементов электронным лучем и с другой стороны высокой чувствительности для микроэлементов - рентгеном. Такой комбинированный анализ призводит входящая в пакет программа iMOXS-Quant.