Energy 250 - детектор «Standard», базовый набор функций микроанализа (качественный и количественный анализ, получение рентгеновских карт, управление электронным зондом микроскопа).
Energy 350 - детектор «Premium», базовые функции микроанализа плюс ряд дополнительных функций, включая автоматизацию управления электронным зондом (автоматический анализ по регулярной сетке точек), ряд функций анализа и сравнения полученных данных, синтез спектра, фазовый анализ, коррекцию дрейфа зонда и др.
Energy 450 - детектор с разрешением «Premium», пакет для автоматического микроанализа, дополнительно включает функции управления моторизованным столиком микроскопа, автоматическую систему анализа и классификации микрочастиц и включений (Feature) и др.

Интерфейс программ INCA Energy SEM - на русском языке. Система всплывающих окон помощи на русском языке. Возможность переключения на английскую версию. Руководство оператора на русском. Встроенная электронная энциклопедия микроанализа.

Возможна установка дополнительных интегрированных систем микроанализа - волнодисперсионного спектрометра Inca Wave и/или систем анализа дифракции отраженных электронов (ДОЭ) Inca Crystal, Channel 5 - одновременно с ЭДС или позже.

INCA Energy - система микроанализа созданная для надежного качественного и точного количественного анализа химического состава:

• Автоматическое определение всех элементов в спектре в процессе накопления - без исключений
• Обработка спектра с использованием цифровой фильтрации и обработка пиков методом наименьших квадратов
• XPP - новая процедура коррекции матричных эффектов, которая обеспечивает большую точность количественного анализа, чем процедуры ZAF и PhiRho-Z
• Полная и точная библиотека линий рентгеновского спектра, в том числе линий Mz и LI на низких энергиях. В области малых энергий библиотека дополнена и проверена результатами собственных исследований Oxford Instruments
• Автоматический учет влияния элементов из напыленного покрытия
• Универсальная программа безэталонного анализа работает для всех образцов при любых условиях возбуждения (кВ, ток зонда, геометрия)
• Возможности использования эталонов и оптимизации профилей элементов обеспечивают наиболее точный количественный анализ сложных соединений

Для обеспечения надежности и точности:

Сдвиги пиков вызывают ошибки в идентификации близких и перекрывающихся линий. Сдвиг на 4эВ приводит к ошибке в 10вес.%!

Детекторы и электроника Oxford Instrumets гарантируют стабильность позиции пика <1eV @Mn Ka и стабильность разрешения <1eV @Mn Ka при скорости счета от 1000 до 10000 имп/сек (детекторы Si(Li)) и до 100 000 имп/сек (детекторы x-ACT). Тест долговременной стабильности системы: cдвиг по шкале энергий менее 1.5эВ за 48 суток. Только Oxford Instruments обеспечивает эти параметры!

Безазотные SDD детекторы:

Новые SDD детекторы X-Max с активной площадью

Типичное разрешение по энергии - 123-125эВ на линии Mn Ка
Гарантированные характеристики разрешения по энергии (<129эВ, Mn Ка)
Не зависят от площади кристаллов
Чувствительность детектора X-Max 80мм2 в 10 раз выше, чем у обычного детектора SDD или Si(Li) с площадью кристалла 10мм2
Высокая производительность и точность обеспечиваются при малых токах зонда - оптимальных для исследования наноструктур

Гарантирована стабильность позиции пика <1eV @Mn Ka и стабильность разрешения <1eV @Mn Ka при скорости счета до 100000имп/сек
Определение любых элементов от бериллия
Гарантированные характеристики по легким элементам (углерод, фтор) соответствующие стандарту ISO 15632:2002
Надежный количественный анализ при скорости счета >100 000имп/сек
Уникальный интерфейс Inca Energy делает микроанализ простым и удобным

Аналитический Дрейфовый Детектор (ADD) x-Act

Автоматическое охлаждение одновременно с откачкой микроскопа
Надежный количественный анализ при скорости счета 40 000имп/сек - за 5 секунд
Рентгеновское картирование за 60 секунд
Точное отображение химических вариаций
Нет движущихся частей - отсутствие признаков вибрации при больших увеличениях

Гарантировано при скорости счета 20000 имп/сек на месте установки.
Соответствует стандарту ISO 15632:2002.
Гарантирована стабильность позиции пика <1eV @Mn Ka и стабильность разрешения <1eV @Mn Ka при скорости счета от 1000 до 100 000имп/сек

Oхлаждаемые жидким азотом Si(Li) детекторы:

Гарантировано при скорости счета 20000 имп/сек на месте установки.
Соответствует стандарту ISO 15632:2002.
Гарантирована стабильность позиции пика <1eV @Mn Ka и стабильность разрешения <1eV @Mn Ka при скорости счета от 1000 до 100 000имп/сек

Основные преимущества ВДС:

• Количественный микроанализ приблизительно в десять раз более чувствительный по сравнению с ЭДС
• Анализ элементов-примесей (<0.1 - <0.01%)
• Спектральное разрешение от 2-3 до 50 эВ - на порядок лучше ЭДС
• Разделение близко расположенных пиков
• Точная идентификация пиков
• Наилучшая чувствительность для анализа легких элементов
• Рентгеновское картирование с наилучшим отношением пик/фон

INCA Energy+ Программа для интеграции волнодисперсионной и энергодисперсионной систем микроанализа (для использования с системой Inca Wave WDS). Входит в комплект при единовременной поставке двух спектрометров. Позволяет произвольно выбирать тип спектрометра для каждого элемента как при количественном анализе, так и при картировании.

Nordlys II F+ - обеспечивает самую высокую скорость и качество картирования ориентации кристаллитов с одновременным индексированием - до 600 точек в секунду. Возможность исследования образцов при нагреве до 900 градусов.

Nordlys II S - обеспечивает высокое разрешение и чувствительность при исследовании материалов с низкой симметрией, скорость картирования до 106 точек в секунду.

HKL Channel 5 - комплект оборудования и программ для решения наиболее сложных задач анализа:

• Индексирование фаз как с высокой, так и с низкой симметрией, анализ материалов с псевдосимметрией
• Гибкие и мощные программы анализа текстур с применением методов полюсных фигур, обратных полюсных фигур, функций распределения ориентации/дезориентации в пространстве Эйлера и др. для любых кристаллических материалов (все 11 групп Лауэ)
• Модульный принцип построения - пользователь имеет возможность выбирать программные модули, необходимые для решения его специфических задач (идентификация фаз, картирование ориентации кристаллитов и распределения фаз, анализ текстур методами прямых и обратных полюсных фигур, анализ текстур с использованием моделирования в пространстве Эйлера и др.)
• Широкий выбор баз данных кристаллографической информации (стандартная база даннных - NIST - >10 000 фаз, дополнительно можно подключать базы ICSD, American Mineralogist и др. с общим числом фаз более 140 000)

INCA Synergy - интегрированная система на базе энергодисперсионного анализатора Inca Energy и EBSD HKL Channel 5 - для одновременного анализа структуры, текстуры и химического состава.

• Обеспечивает одновременное использование методов ДОЭ и ЭД - рентгеновского микроанализа для автоматической идентификации фаз и картирования (карты распределения фаз, карты ориентации кристаллитов, рентгеновские карты распределения элементов)
• В каждой точке карты осуществляется накопление спектра ЭДС и картины ДОЭ. На основе этих данных фазы одинаковой структуры, но разного состава дискриминируются по составу, а фазы одинакового состава, норазной структуры - по кристаллической структуре

Модульный принцип построения - можно выбирать программные модули, необходимые для решения специальных задач:

• Flamenco, получение и индексирование картин ДОЭ, идентификация фаз по структуре/составу
• Tango, ориентационное картирование
• Mambo, анализ текстур методом полюсных фигур
• Salsa, анализ текстуры с использованием функций распределения ориентаций в пространстве Эйлера
• Twist, моделирование кристаллических структур / добавление новых фаз в базу данных

Метод используется при исследовании широкого круга кристаллических материалов для измерения микроструктур и микротекстур, ориентации кристаллитов, свойств границ зерен. В комбинации с анализом химического состава ДОЭ можно использовать для идентификации неизвестных фаз. Таким образом, ДОЭ дает полный обзор физических свойств материалов на уровне микроструктур.

Метод ДОЭ (известный также как дифракция Кикучи) был впервые разработан Аламом (Alam et al.) в 1954г, когда он получил несколько дифракционных картин и назвал их "широкоугольные отраженные картины Кикучи", в знак признания соответствующего явления описанного Кикучи в 1920-е годы. Однако эти исследования не находили применения до 1970-х, пока Венабл (Venables, et al.) с соавторами не использовал ДОЭ в металлургической микрокристаллографии, открыв путь для более широкого применения метода в материаловедении. Значительные технические достижения последних 10 лет сделали ДОЭ идеальным методом быстрого анализа микроструктур кристаллических материалов.

Получение картин дифракции отраженных электронов с помощью растрового электронного микроскопа не составляет особого труда. Для этой цели плоскополированный образец наклоняют под углом около 70 градусов по отношению к горизонтали. Электронный зонд направляют в интересующую точку на поверхности образца: упругое рассеяние падающего пучка вынуждает электроны отклоняться от этой точки непосредственно ниже поверхности образца и налетать на кристаллические плоскости со всех сторон. В тех случаях, когда удовлетворяется условие дифракции Брэгга для плоскостей атомов решетки кристалла, образуются по 2 конусообразных пучка дифрагированных электронов для каждого семейства кристаллических плоскостей. Эти конуса электронов можно сделать видимыми, поместив на их пути фосфоресцирующий экран, а вслед за ним высокочувствительную камеру для наблюдения (цифровую CCD камеру). Обычно камера располагается горизонтально, с тем, чтобы фосфоресцирующий экран находился ближе к образцу, с широким углом захвата дифракционной картины. Там, где конусообразные пучки электронов пересекаются с фосфоресцентным экраном, они проявляются в виде тонких полос, называемых полосами Кикучи. Каждая из этих полос соответствует определенной группе кристаллических плоскостей. Результирующие картины ДОЭ состоят из множества полос Кикучи. С помощью специальных компьютерных программ автоматически определяется положение каждой из полос Кикучи, производится сравнение с теоретическими данными о соответствующей кристаллической фазе и быстро вычисляется трехмерная кристаллографическая ориентация. Весь процесс от начала до конца занимает <0.02сек для каждой точки анализа.

Для получения карт ориентации кристаллитов электронный зонд последовательно перемещается по регулярной сетке точек, для каждой точки формируется картина ДОЭ, компьютерная программа индексирует ее и сохраняет информацию об ориентации и фазовом составе. Полученная информация затем используется для реконструкции микроструктуры в виде ориентационных или фазовых карт, построения полюсных фигур и др., представляющих полную характеристику микроструктуры образца.

Эта информация используется для дискриминации фаз, анализа текстур, размера и формы зерен, свойств границ, локальной дезориентации, анализа напряжений и деформации внутри зерен.